中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称45所)是我国专业从事半导体专用工艺设备研发、制造和技术服务的大型科研生产机构,是国家“863”重大设备攻关、IC后封装设备产业化示范工程项目承担单位。45所凭借其多年来的技术积累和创新,默默地耕耘在半导体设备领域。
10大门类产品服务4大领域
中国电子科技集团(CETC)第45研究所是国内从事电子专用设备技术、整机系统和应用工艺研究开发与生产制造的专业化科研生产单位,以机器视觉技术、运动控制技术、精密零部件制造与优化技术、物料传输系统技术、精密运动工作台系统技术、专项工艺研究与物化技术和整机系统集成技术为主要研究方向,以半导体与集成电路专用设备、新兴电子元器件专用设备和其他机电一体化专用设备为主要研发对象。现已形成以IC关键工艺设备“光刻机”为龙头,晶圆加工设备、芯片封装设备及电子元件设备等门类齐全,系列配套的产品。由45所研制的半导体材料加工、光刻、电镀、腐蚀清洗、检测系统、划片、键合设备在国内处于技术领先地位并已具备规模生产能力。
45所研制的产品涉及4大领域10大门类,有100多个品种。30多年来,45所共取得科研成果500多项,其中200多项获得国家、省(部)级以上奖励;申请并获得技术专利50多项;有59种专用设备被国家列入替代进口产品目录,另有20多项被列为国家级新产品。由45所研发生产的6000多台(套)专用设备在我国集成电路制造行业和其他行业近300家企业的生产线、科研院所以及高校发挥着重要作用。
45所产品服务的主要市场领域包括微电子、半导体照明(LED)、太阳能光伏、半导体分立器件及元件、特种材料等其他电子元器件。其中,微电子及分立器件客户大多数分布在珠、长三角地区,主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、焊线机等产品;半导体照明设备产品的客户(封装+芯片)主要分布在珠三角地区,主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品;太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区,涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干机、划片机等产品。其他元件、特种材料等电子元器件设备产品客户在全国各地均有分布,涉及的产品包括切片机、清洗机、甩干机、划片机等。
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