美国吉时利仪器(KeithleyInstruments)强化了半导体材料评测系统"4200-SCS"在太阳能电池方面的功能。具体包括:针对太阳能电池评估测定、;把采用交流电压的C-V测定频带带宽从原来的10k~10MHz提高至1k~10KHz的C-V测定模块"4210-CVU"、用于连接主机与探针的通用缆线和测定模块的插槽数为9个的新机箱等。原系统的插槽数为8个。
开发软件工具方面,除增强了程序库之外,还增加了用于太阳能电池材料开发的DLCP(Driver Level CapacitanceProfiling)功能。DLCP为在改变交流电压的同时测定容量的试验方法,可通过外加1k~10MHz的交流电压,测定材料的缺陷密度等。除太阳能电池之外,还可用于液晶面板、有机EL、高亮度LED以及功率半导体等的材料开发。
连接主机与探针的缆线,可支持4200-SCS能够测定的所有测定项目。以前,各项测定必需使用不同的缆线,因此,缆线的更换耗时耗力、或者导致测定误差等现象,成为检测工作的瓶颈。此次准备了可分别用于美国CascadeMicrotech及德国苏斯微技术(SUSS Micro Tec AG)探针的2种缆线。
KTEI Version7.2方面,如果是原有的4200-SCS用户,则可免费引进。4210-CVU的校准及机箱的更新为有偿服务。主机的升级随结构而不同,最高为180万日元左右。4210-CVU为166万4000日元,3轴缆线套件为平均每套操作装置995美元。目前已开始接受订货。
对于半导体业界的状况,公司市场营销副总裁MarkHoersten表示:"相对于半导体厂商总收入的设备投资比率,从陷入目前经济危机之前的22~23%急剧下滑"。该公司认为目前这种情况对检测仪器提出了新的需求。这是因为,随着人员、产品开发期及产品寿命比以前减少,亟需灵活的、生产效率较高的检测仪器。"通过采用此次推出的通用缆线这样微不足道的选配部件,就能缩短测定时间。有助于提高测定效率"(Hoersten)。
吉时利表示,作为今后的市场,将关注"太阳能电池""高亮度LED""功率半导体"领域。其中最寄予期望的,是这些市场领域所必需的新材料开发。"目前,在日本采用硅以外材料的太阳能电池开发进行得如火如荼"(Hoersten)。此外,内存方面,相变存储器之类的新材料受到了关注。与闪存等相比,其数据保存时间较长,并且有望缩短写入时间及提高记录密度,目前以闪存厂商等为中心正在进行开发。"为了努力提高半导体元器件的性能,肯定需要开发新材料"(Hoersten),所以对于4200-SCS等检测仪器,将通过面向多种用途增加功能以及进行软件更新,以吸引随新材料开发而产生的需求。
编辑:中国照明网-小麦
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