LED上游支撑业：投资趋热尚待突破

图为联创光电LED生产线

　　一只羽翼渐丰的大鸟，碍于发育迟缓的双翅，想振翅高飞却心有余而力不足。中国LED(发光二极管)产业就像这只大鸟，而其上游设备材料支撑产业就像发育迟缓的双翅。如何才能更快更好地发展设备材料业，使我国LED产业飞得更高更远，成为继LED应用之后业界的又一热点话题。

　　投资渐热

　　今年1月，广东佛山上马LED芯片制造核心设备项目。消息称，该项目由华中科技大学甘志银教授领导的研发团队研制，并与广东佛山市南海区昭信集团达成产学研合作开发协议，着手进行项目样机试制及产业化等工作。该项目预算投资约为5亿元，首期投资8000万元。

　　LED是由超高纯度化合物半导体材料如GaN(氮化镓)制成的，其核心技术是在MOCVD(有机化学气相沉积炉，又称外延炉)中生长出一层厚度仅有几微米的化合物半导体外延片。MOCVD是LED生产过程中最重要的设备，外延片生长技术是最关键的技术，其价值占整个产业链(外延片、芯片、封装、应用)的70%。据了解，目前，苏州和北京等城市都有意投资研发生产型的MOCVD设备。苏州纳晶科技有限公司董事长梁秉文博士表示:“国家863计划在不同时期相继支持过几个项目来做MOCVD设备研发，但产品化、商业化的结果并不理想。当时只是做了几台MOCVD的设备样品，没有产生或运作出像样的MOCVD设备企业。如果北京、苏州或深圳今年上马MOCVD设备，将不仅仅停留在研究开发阶段，而是投入真正意义的商业运作。”

　　当然，MOCVD等关键设备的国产化是比较艰难的，深圳雷曼光电科技有限公司总经理李漫铁认为，上游MOCVD等核心设备预计需要3至5年才能商业化生产。他建议，国产设备需要进一步解决可靠性和精度问题，政府也应以优惠政策鼓励LED企业购买国产设备，给作为后来者的LED国产设备一些成长的机会。

　　除了整个系统外，还要重视关键零部件的制造和配套能力。“比如高纯度、高质量的石墨，水晶材料部件、不锈钢材料部件的表面处理等，还有压力、流量、温度探测、各种真空泵等对于MOCVD都是必不可少的。所以，MOCVD项目的成功运作会带动一大批配套产业的发展和进步。当然，MOCVD等关键设备国产化的成功必定意味着LED成本的降低。”梁秉文认为。

　　工艺设备同行

　　设备和工艺是不可分的，没有设备的工艺一定是纸上谈兵，没有工艺的设备将是无源之水。但目前国内设备厂商似乎并没有特别注意工艺问题，可以说，工艺问题已经成为国产设备推广应用最主要的障碍之一。

　　爱发科(中国)公司相关负责人对记者表示：“设备和工艺是紧密联系在一起的，光有好的设备是不够的。设备企业可以联合生产企业共同开发，因为设备厂家并不了解生产工艺，上下游合作解决工艺问题，这是设备厂家应该注意的。国内设备厂商要想发展，一定要倾听用户的声音。”该负责人表示。

　　不可否认，如果设备供应商能够在提供设备的同时提供工艺，那就会在市场中占有优势。晶能光电(江西)有限公司董事长江风益在接受记者采访时表示，现在有不少其他国产设备研制出来了，但没有在市场上推广应用。究其原因，主要是工艺和设备没有紧密结合起来，缺乏工艺的设备，用户不敢使用。另外，国产化设备初始阶段没有完善，经常出一些小毛病(往往不是大毛病)，如果用户的设备维护水平上不去，往往不敢贸然吃这个螃蟹。“国际上有一家MOCVD设备制造商，很多年前就研制出来生产型MOCVD设备，但他们没有自己的外延生长工艺，因而在市场上几乎没有用户。所以说，工艺与设备的结合，把工艺物化到设备中去是何等的重要。”江风益强调。