国产LED生产设备将亮相秋季中国电子展

　　两家LED和太阳能生产设备巨头今年二季度的财报相信会让国人暗生艳羡却又很不是滋味：Veeco Instruments 2010年第二季度的营收达2.53亿美元，与2009年同期相比年增251.4%;Aixtron 2010年第二季度的营收达1.918亿欧元，年增238%。正是固态照明产业和可再生能源产业的蓬勃发展让这两家分别位于美国和德国的企业赚得是盆满钵满，中国相关生产企业和资本在其中也可谓“贡献”良多，例如，有机构预计，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD将有35%以上是卖到中国大陆。

　　如何发展国产的太阳能和LED生产设备，降低生产成本，是关乎中国绿色节能产业健康发展的重大命题。目前国产太阳能光伏设备在国内用户中已建立起良好的信誉，得到业界的广泛认可，越来越多的客户从国产设备使用中受益。中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式PECVD、快速烧结炉和进口设备并存但份额在逐步增大，全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD则基本依赖进口。

　　即将参展第76届中国电子展暨亚洲电子展(上海)的青岛华旗科技有限公司就是一家专业的半导体工艺设备及先进材料专用设备研发、制造厂家，致力于为半导体集成电路分立器件、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备,工艺涵盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散退火(含快速退火工艺)合金、真空烧结等工艺。该公司最新推出的JDF200-3FS太阳能电池扩散炉可供太阳能电池片生产线上125mm×125mm 、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。

　　另一家参展商青岛赛瑞达设备制造有限公司也将展示低压化学气相淀积设备、等离子增强化学气相淀积设备和SRD-VGF单晶炉设备。其LPCVD用于淀积薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。

　　在LED照明方面，中国的大功率特性衬底技术、加工稳定性以及对外延效率的提升率与国外相比，差距逐渐缩小，但是上游生产性外延设备一直主要依赖进口昂贵的国外产品。MOCVD等关键设备对LED产业发展具有举足轻重的作用，有识之士都呼吁中国相关部门要集中人才和资源进行重点开发，解决制造设备中的关键技术，掌握具有自主产权的核心技术，并尽早实现LED生产设备国产化量产。只有这样才会加快推动LED产业发展，降低LED相关产品的成本，实现健康、迅速地发展。

　　可喜的是，即将在第76届中国电子展亮相的国产LED生产设备为人们点燃了希望，以青岛华旗科技和青岛赛瑞达为代表的一批中国设备制造商在关注太阳能电池市场的同时，正把目光投向LED、LCD、电力电子器件等市场应用领域，并保持住价格优势，在新一轮的竞争中争取更大的市场空间。他们或将成为改变中国乃至世界LED生产设备市场格局的重要力量。