七星电子12英寸集成电路立式氧化炉实现产业化

　　2015年1月，北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸立式氧化炉供销合同，用于其55纳米集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后，又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破，开始走向商用化。

　　图 七星电子12英寸立式氧化炉

　　七星电子具有50余年的半导体装备研制生产历史，是我国集成电路工艺设备骨干研制生产企业。近年来，在国家科技重大专项支持下，七星电子承担了12英寸立式氧化炉的研制任务。通过企业持续创新与投入，以及和用户的紧密合作，七星电子研发团队成功研制出完全自主知识产权的12英寸立式氧化炉产品，通过了中芯国际90纳米、65纳米、45纳米、28纳米生产线的工艺验证。设备的关键工艺指标、可靠性、安全性均达到国际同等设备技术水平，并实现产品系列化。

　　未来，七星电子将瞄准集成电路产业技术发展方向，通过持续投入，不断提高自身技术研发能力和立式炉产品的技术水平，增强国际市场竞争力。同时，通过12英寸LPCVD,单片清洗机等产品的研制，扩大集成电路装备产品线，努力把企业打造成国内高端集成电路设备的龙头企业，为中国集成电路产业的发展贡献力量。