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核心提示： MOCVD即金属有机化合物化学气相沉积，是生产LED灯芯片的关键设备，技术难度极大，目前世界上主要由两家公司垄断，包括德国Aixtron公司与美国的Veeco(Veeco兼并Emcore公司MOCVD业务)两家。
中科院LED照明研究所研制成功LED灯芯片制造的关键设备MOCVD，使我国LED设备制造进入一个新的历史阶段。
MOCVD即金属有机化合物化学气相沉积，是生产LED灯芯片的关键设备，技术难度极大，目前世界上主要由两家公司垄断，包括德国Aixtron公司与美国的Veeco(Veeco兼并Emcore公司MOCVD业务)两家。
MOCVD的技术路线主要有：Aixtron采用行星反应(PlanetaryReactor)，Aixtron兼并ThomasSwan的ClosedCoupledShowerhead(CCS)反应室，Veeco公司采用TurboDisc反应室，必须有极高的温度压力控制能力，包括对多种气体的量的控制，而且这一切都在一个密闭的空间里实现，显然难度比起汽车发动机高得多，因此国外很多公司研发多年最终失败。
由于存在技术垄断及技术壁垒，有关厂家采用高价策略，以攫取暴利，一套设备以千万计，从而最终的LED芯片价格居高不下，传导到下游使LED灯价格也难以降低，最终导致LED灯难以普及，只能有高端用户才能享受这种环保节能的照明产品。
现在中科院LED照明研究所研制成功的MOCVD，其技术水准已经达到目前市面销售的MOCVD的水准，也许比起着名公司储备的新一代MOCVD设备要略差，但显然已经可以实际商业运行了，可以投入LED灯的工业化生产，最终将导致LED灯价格降低，使寻常百姓也能有幸使用这种高科技的环保产品。
编辑：妮子
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