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PSS的普及使等离子设备需求扩大
其他设备的市场与供求存在差异的MOCVD设备市场一样，2012年的销售额低于2010年和2011年。不过，引领LED设计的技术变化的领域却呈现出了不同的趋势。使用图形化蓝宝石基板(PSS: Patterned Sapphire Substrate)可以提高亮度。仅一年多时间，PSS已经占到了全世界LED用蓝宝石基板的近80%，催生出了对于蚀刻PSS晶圆的等离子设备的需求。现在，已经投入使用的用于制造PSS的干法刻蚀设备约有280台，其中有200台是在2011年或2012年安装的。2012年估计也将维持在这个水平。
目前，提高PSS产能的企业有三种。第一种是蓝宝石基板生产商;第二种是购买标准晶圆，自行PSS化的LED生产商;第三种是购买基板，形成图案后销售的专业PSS代工商。
等离子蚀刻是在基板上确定图案后对光刻胶层进行处理，因此催生出了掩模定位使用的工具和步进机的需求。但掩模定位用工具很难达到PSS要求的分辨率，步进机的分辨率虽然可以满足要求，但在不造成断裂或裂缝的前提下刻画晶圆大小的图案时会出现问题。以50mm晶圆为例，PSS制造的成品率通常为80～93%，但对于100mm晶圆，成品率仅为40～70%。在今后的6个月之内，包括“纳米压印转印”在内，各种商用解决方案的出现估计将会提高大口径晶圆的成品率，降低PSS的成本。
LED要想获得成功，就必须要降低成本，此外还必须要改善性能与均一性，使LED的生产沿着传统半导体的思路前进，提高对于细节的重视。要想实现规模优势，就需要以更高程度的自动化、生产管理用软件、统计学工程管理，以及“盒对盒”系统为目标实现进化。
责编：李杰
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